半導(dǎo)體用C-FLEX軸承的好處
在如今,以半導(dǎo)體制造業(yè)為代表的先進(jìn)行業(yè)的生產(chǎn)加工環(huán)境十分復(fù)雜,涉及多種因素,一是真空,許多半導(dǎo)體部件的加工都在真空環(huán)境中進(jìn)行,這就對其中運(yùn)行的軸承提出了前所未有考驗(yàn),二是清潔,真空環(huán)境生產(chǎn)的目的就是為了清潔,所以軸承傳統(tǒng)的潤滑方式就不再適合,三是腐蝕,半導(dǎo)體制造產(chǎn)生的雜質(zhì)中,多有酸性特征,其腐蝕性對相關(guān)環(huán)節(jié)軸承亦有較高的要求。但在半導(dǎo)體制造業(yè)中,軸承又是不可或缺的,因此這里使用的軸承就需要耐真空,更清潔,更耐用,以及更耐腐蝕。C-FLEX開發(fā)了多種半導(dǎo)體制造業(yè)軸承專用材質(zhì),以及多種在超高真空環(huán)境、清潔環(huán)境及腐蝕環(huán)境中使用的潤滑劑,滿足了人們對半導(dǎo)體制造業(yè)中使用的軸承的期望。這些材質(zhì)和潤滑主要包括馬氏體不銹鋼、MoS2磷酸鹽涂層、特殊PTFE涂層、耐腐蝕涂層、陶瓷涂層等等,主要潤滑脂包括低顆粒潤滑脂、通用固體潤滑脂、食品級、高溫、抗放射性潤滑脂、導(dǎo)電潤滑脂(EP-2)、導(dǎo)電氟潤滑脂(EF-2)等等,正是這些新材料,支撐起了半導(dǎo)體制造業(yè)用軸承。這些軸承按使用環(huán)境可分為三類,一是航空航天設(shè)備,真空設(shè)備用的通用真空環(huán)境用軸承,二是半導(dǎo)體制造設(shè)備,LCD面板制造設(shè)備用的清潔環(huán)境用軸承,三是金屬板蝕刻設(shè)備,顯影劑,清洗設(shè)備用的腐蝕環(huán)境用軸承,也有三種類型兼?zhèn)涞妮S承,這些軸承為半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,提供了重要的支持。
服務(wù)的行業(yè)國防/軍事光學(xué)與光子學(xué)航天物料搬運(yùn)能源/環(huán)境資訊科技與通訊半導(dǎo)體機(jī)器人技術(shù)產(chǎn)品應(yīng)用掃描鏡快速轉(zhuǎn)向鏡光學(xué)組件安裝座精密焊機(jī)萬向環(huán)安裝座振動傳感器儀表指示頭飛機(jī)飛行控制焊線機(jī)